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利用納米壓印技術進壹步提高LED燈珠效率實現高品質百事2平台环保GaN晶體

时间:2020-12-12 17:43 点击次数:
 
哄骗納米壓印技術進壹步提高LED燈珠效率的可能性。古河機械金屬、金澤工業年夜學、東芝機械和早稻田年夜學副传授水野閏的研究室哄骗納米壓印技術開發出了將GaN晶體的位錯(位錯:晶體中含有的線狀缺陷。此前GaN晶體的位錯密度高達1×109/c㎡
以上,被認為是向LED燈珠流過年夜電流時導致發光效率降低的缘故原由。)降至年夜約原來的1%的要领。
   具體要领是:起首在原來的GaN晶體上形成SiO2薄膜,哄骗納米壓印技術形成幾十個nm寬的小口;然後再次生長GaN晶體。這洋,SiO2膜下方的GaN晶體的位錯就不會到達上方的GaN晶體,由此能減少上方GaN晶體的位錯。早稻田年夜學的水野传授介紹說,
   “我們試制了LED燈珠,確認該技術可提高輸出功率並延長壽命。應該也能用於功率半導體”。
   水野暗示,該技術還有望降低LED燈珠的驅動電壓。“由於位錯少,之前必須達到140μm厚度的GaN晶體可年夜幅減薄至21μm如下”。用R2R体式格局量LED燈珠用模具    
   接纳納米壓印技術的精細圖案形成技術有助於提高LED燈珠發光效率。東芝機械公司開發出了包孕專用的壓印裝置在內,將LED燈珠的發光效率提高20~30%的技術。哄骗在藍寶石基板外貌形成高低圖案的“PSS”(Patterned Sapphire Substrate,
   圖形化藍寶石襯底),提高了反射率等,從而提高了發光輸出。
      東芝機械納米加工系統業務部副業務部長後藤博史暗示,存在的問題是怎样減少模具的缺陷數量,和怎样使成本比哄骗現有步進器形成圖案時更具優勢。“基板出缺陷的話,LED燈珠就不會發光。而為降低成本反復使用模具的話,缺陷就會越來越多”。
    針對這兩個問題采纳的對策是,把哄骗R2R体式格局年夜量復制的樹脂模具制成壹次性產品。“把4英寸晶圓的成本降到5美元如下的目標已经有端倪”。樹脂模具還有壹個優點,那就是這百事2平台结构合不壹定平展的藍寶石基板。
 

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